欧姆龙EE-SPY801/802晶圆片托架落座传感器说明书下载
所属类别：欧姆龙(OMRON)
>> 传感器
资料介绍：
薄片载体的落座检测
◇依靠与导槽并用，设定落座位置。
◇晶圆片托架的接触面使用了氟素树脂。防化学性能优越。
◇在独特的光学结构，几乎可稳定检测所有晶圆片托架。
◇采用强抗外部干扰光的变调光方式。
◇电线使用净化电线(无粉尘)。
◇依靠与导槽并用，设定落座位置。
◇晶圆片托架的接触面使用了氟素树脂。防化学性能优越。
◇在独特的光学结构，几乎可稳定检测所有晶圆片托架。
◇采用强抗外部干扰光的变调光方式。
◇电线使用净化电线(无粉尘)。
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