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欧姆龙 晶圆片托架落座传感器 EE-SPY801/802
欧姆龙(OMRON) 晶圆片托架落座传感器 EE-SPY801/802
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欧姆龙(OMRON)晶圆片托架落座传感器EE-SPY801/802
薄片载体的落座检测
■依靠与导槽并用,设定落座位置。
■晶圆片托架的接触面使用了氟素树脂。防化学性能优越。
■在独特的光学结构,几乎可稳定检测所有晶圆片托架。
■采用强抗外部干扰光的变调光方式。
■电线使用净化电线(无粉尘)。
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额定值 / 规格

项目 型号 EE- SPY801/802
检测距离
(标准检测物体)
0~5mm (反射率90% 白色纸15×15mm2 )
0~3mm (反射率10% 黑色纸15×15mm2 )
检测物体 晶圆片拖架(透明体·不透明体)
动作显示灯 物体检测时灯亮(橙色)
光源(发光波长) GaAs红外发光二极管(940nm)
电源电压 DC12~24V±10% 脉动(p-p)5%以下
消耗电流 30mA以下
控制输出 NPN型:集电极开路输出、DC5~24V、100mA以下
残留电压:0.8V以下(负载电流100mA时)
残留电压:0.4V以下(负载电流40mA时)
应答时间 5ms以下
使用环境照度 受光面照度 白炽灯、太阳光:3,000lx以下
环境温度 动作时:-10~+55℃、 保存时:-25~+65℃ (不结冰)
环境湿度 动作时:5~85%RH、 保存时:5~95%RH (不结露)
振动(耐久) 1~500Hz 复振幅1.0mm或150m/s2 X、Y、Z各方向 3次、11min/次
冲击(耐久) 500m/s2 X、Y、 Z各方向 3次
保护结构 IEC规格 IP30
连接方式 导线引出型(标准导线长2m)
质量(捆包状态) 本体(传感器):约43g、附件(导槽 ):约9g
材料 外壳 四氟乙烯共聚合物(ETFE)
底板 聚对苯二甲酸丁二醇酯
附件 使用说明书

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