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晶闸管输出单元
微型光电传感器
晶圆片托架落座传感器 EE-SPY801/802
薄片载体的落座检测
■依靠与导槽并用，设定落座位置。
■晶圆片托架的接触面使用了氟素树脂。防化学性能优越。
■在独特的光学结构，几乎可稳定检测所有晶圆片托架。
■采用强抗外部干扰光的变调光方式。
■电线使用净化电线(无粉尘)。
薄片载体的落座检测
■依靠与导槽并用，设定落座位置。
■晶圆片托架的接触面使用了氟素树脂。防化学性能优越。
■在独特的光学结构，几乎可稳定检测所有晶圆片托架。
■采用强抗外部干扰光的变调光方式。
■电线使用净化电线(无粉尘)。
晶体管输出单元
晶体管输出模块 C500-OD213
◇输出点数：64点
◇最大开闭能力：DC4.5V 16mA-DC26.4V 100mA(800mA/公用,6.4A/单元)
◇最小开闭能力：-
◇输出应答时间（ON延迟）：0.2ms以下
◇输出应答时间（OFF延迟）：0.3ms以下
◇每回路公用的点数：8点(8回路)
◇外部供应电源容量：DC5-24vV 170mA以上
◇输出点数：64点
◇最大开闭能力：DC4.5V 16mA-DC26.4V 100mA(800mA/公用,6.4A/单元)
◇最小开闭能力：-
◇输出应答时间（ON延迟）：0.2ms以下
◇输出应答时间（OFF延迟）：0.3ms以下
◇每回路公用的点数：8点(8回路)
◇外部供应电源容量：DC5-24vV 170mA以上
晶体管输出单元
晶体管输出模块 C500-OD211
◇输出点数：64点动态
◇最大开闭能力：DC24V
◇最小开闭能力：-
◇输出应答时间（ON延迟）：0.2ms以下
◇输出应答时间（OFF延迟）：0.3ms以下
◇每回路公用的点数：1点
◇外部供应电源容量：DC24V 50mA以上
◇输出点数：64点动态
◇最大开闭能力：DC24V
◇最小开闭能力：-
◇输出应答时间（ON延迟）：0.2ms以下
◇输出应答时间（OFF延迟）：0.3ms以下
◇每回路公用的点数：1点
◇外部供应电源容量：DC24V 50mA以上
晶体管输出单元
晶体管输出模块 C500-OD218
◇输出点数：32点
◇最大开闭能力：DC12-24V(2.4A/公用，4.8A/单元)
◇最小开闭能力：-
◇输出应答时间（ON延迟）：0.2ms以下
◇输出应答时间（OFF延迟）：0.3ms以下
◇每回路公用的点数：16点(2回路)
◇外部供应电源容量：DC12-24V 80mA以上
◇输出点数：32点
◇最大开闭能力：DC12-24V(2.4A/公用，4.8A/单元)
◇最小开闭能力：-
◇输出应答时间（ON延迟）：0.2ms以下
◇输出应答时间（OFF延迟）：0.3ms以下
◇每回路公用的点数：16点(2回路)
◇外部供应电源容量：DC12-24V 80mA以上
晶体管输出单元
晶体管输出模块 C500-OD212
◇输出点数：32点
◇最大开闭能力：DC12-24V(2.4A/公用，4.8A/单元)
◇最小开闭能力：-
◇输出应答时间（ON延迟）：0.2ms以下
◇输出应答时间（OFF延迟）：0.3ms以下
◇每回路公用的点数：公用16点
◇外部供应电源容量：DC12-24V 50mA以上
◇输出点数：32点
◇最大开闭能力：DC12-24V(2.4A/公用，4.8A/单元)
◇最小开闭能力：-
◇输出应答时间（ON延迟）：0.2ms以下
◇输出应答时间（OFF延迟）：0.3ms以下
◇每回路公用的点数：公用16点
◇外部供应电源容量：DC12-24V 50mA以上
晶体管输出单元
晶体管输出模块 C500-OD414
◇输出点数：32点
◇最大开闭能力：DC12-48V(2.4A/单元)
◇最小开闭能力：-
◇输出应答时间（ON延迟）：0.2ms以下
◇输出应答时间（OFF延迟）：0.3ms以下
◇每回路公用的点数：16点(2回路)
◇外部供应电源容量：DC12-48V 80mA以上
◇输出点数：32点
◇最大开闭能力：DC12-48V(2.4A/单元)
◇最小开闭能力：-
◇输出应答时间（ON延迟）：0.2ms以下
◇输出应答时间（OFF延迟）：0.3ms以下
◇每回路公用的点数：16点(2回路)
◇外部供应电源容量：DC12-48V 80mA以上
晶体管输出单元
晶体管输出模块 C500-OD415CN
◇输出点数：32点
◇最大开闭能力：DC12-48V(2.4A/单元)
◇最小开闭能力：-
◇输出应答时间（ON延迟）：0.2ms以下
◇输出应答时间（OFF延迟）：0.3ms以下
◇每回路公用的点数：16点(1回路)
◇外部供应电源容量：DC12-48V 80mA以上
◇输出点数：32点
◇最大开闭能力：DC12-48V(2.4A/单元)
◇最小开闭能力：-
◇输出应答时间（ON延迟）：0.2ms以下
◇输出应答时间（OFF延迟）：0.3ms以下
◇每回路公用的点数：16点(1回路)
◇外部供应电源容量：DC12-48V 80mA以上
晶体管输出单元
晶体管输出模块 C500-OD412
◇输出点数：32点
◇最大开闭能力：DC12-48V(4.8A/单元)
◇最小开闭能力：-
◇输出应答时间（ON延迟）：0.2ms以下
◇输出应答时间（OFF延迟）：0.3ms以下
◇每回路公用的点数：16点(1回路)
◇外部供应电源容量：DC12-48V 80mA以上
◇输出点数：32点
◇最大开闭能力：DC12-48V(4.8A/单元)
◇最小开闭能力：-
◇输出应答时间（ON延迟）：0.2ms以下
◇输出应答时间（OFF延迟）：0.3ms以下
◇每回路公用的点数：16点(1回路)
◇外部供应电源容量：DC12-48V 80mA以上
晶体管输出单元
晶体管输出模块 C500-OD215
◇输出点数：16点
◇最大开闭能力：DC24 50mA/1点
◇最小开闭能力：-
◇输出应答时间（ON延迟）：0.2ms以下
◇输出应答时间（OFF延迟）：0.3ms以下
◇每回路公用的点数：独立公用
◇外部供应电源容量：DC12-48V 50mA以上
◇输出点数：16点
◇最大开闭能力：DC24 50mA/1点
◇最小开闭能力：-
◇输出应答时间（ON延迟）：0.2ms以下
◇输出应答时间（OFF延迟）：0.3ms以下
◇每回路公用的点数：独立公用
◇外部供应电源容量：DC12-48V 50mA以上
晶体管输出单元
晶体管输出模块 C500-OD411
◇输出点数：16点
◇最大开闭能力：DC12-48V(4A/公用，5A/单元)
◇最小开闭能力：-
◇输出应答时间（ON延迟）：0.2ms以下
◇输出应答时间（OFF延迟）：0.3ms以下
◇每回路公用的点数：16点(1回路)
◇外部供应电源容量：DC12-48V 50mA以上
◇输出点数：16点
◇最大开闭能力：DC12-48V(4A/公用，5A/单元)
◇最小开闭能力：-
◇输出应答时间（ON延迟）：0.2ms以下
◇输出应答时间（OFF延迟）：0.3ms以下
◇每回路公用的点数：16点(1回路)
◇外部供应电源容量：DC12-48V 50mA以上
晶体管输出单元
晶体管输出模块 C500-OD217
◇输出点数：16点
◇最大开闭能力：DC12-24V(4A/公用，5A/单元)
◇最小开闭能力：-
◇输出应答时间（ON延迟）：0.2ms以下
◇输出应答时间（OFF延迟）：0.3ms以下
◇每回路公用的点数：8点(2回路)
◇外部供应电源容量：DC12-24V 50mA以上
◇输出点数：16点
◇最大开闭能力：DC12-24V(4A/公用，5A/单元)
◇最小开闭能力：-
◇输出应答时间（ON延迟）：0.2ms以下
◇输出应答时间（OFF延迟）：0.3ms以下
◇每回路公用的点数：8点(2回路)
◇外部供应电源容量：DC12-24V 50mA以上
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